◆平坦化工程(CMP Process)
ー AMAT (Mirra) Stand alone TypeとOn-trak 洗浄機及び
ー Mirra Mesa シリーズ改造、 DNS社 AS-2000 移設
ー WaferのTypeによる改造(notch→flat Type)と6インチから8インチに改造
ー Reflexion LK 300mm 移設
ー（EBARA） CMP EPO-113/222、F-REX 200 Series Head Upgrade(ノーマル→I-Head)、
ー インチ改造、移設→工程・部品の供給
ー F-REX 300mm S1/S2 移設
◆イオン注入装置 Implanter工程の整備
ー SEN(AxcelisのNOVA)装置：NV-GSD HE/LEのインチ改造及び
ー 中古装置Refurbish、部品供給、移設
ー VARIAN装置：E220(500)、E1000、120XP消耗部品の提供及び部品オーバーホール、
ー 中古装置Refurbish、移設
◆化学蒸着工程装置(PVD/CVD/RTP Process)
ー (Endura5500)移設及びChamber Upgrade
ー (Centura5200)、(Producer) Chamber Upgrade
ー (Mattson) SHS2000、2800 改造及び移設
ー 部品修理及び工程部品の製作・供給
◆測定装置(Hitachi SEM)、(Therma-Wave)、(KLA-TENCOR)
ー S-8820、8840、9200 モデルの改造・補修及び移設、部品の供給
ー OP 2600, 3290/TP420の移設、AIT-XP 部品提供
◆蝕刻装置工程(Etcher Process)
ー Hitachi M501, 502, 602A 中古装置Refurbish、改造、移設
ー P5000,Centura5200 DPS, DPS +Chamber Upgrade及び移設
ー LAM TCP9600, Rainbowシリーズ Refurbish、インチ改造、移設
